С большим сочувствием об атеизме и атеистах пишет П. Бейль (1647–1706 гг.), автор «Исторического и критического словаря», первым высказавший мысль о возможности общества, состоящего из одних атеистов. Английские деисты Дж. Толанд (1670–1722 гг.) и А. Коллинз (1676–1729 гг.) не отрицают бытие Вечного Существа, однако в своих критических воззрениях относительно христианства и христианского учения о Боге и церкви мало чем отличаются от атеистов. Д. Юм (1711–1776 гг.) сомневается в достоверности событий, излагаемых в Священном Писании, отвергает чудеса и таинство Евхаристии, а также аргументы в пользу бессмертия души. Бога он признает лишь в крайне отвлеченной форме «Верховного (или Высшего) Существа», «первопричины и перводвигателя универсума», объясняет происхождение первоначальной религии «заботами о житейских делах, а также... надеждами и страхами». Наиболее известные представители французского деизма – М.Ф.А. Вольтер (1694–1778 гг.) и Ж.Ж. Руссо (1712–1778 гг.) признают существование Бога, но их понимание Бога не идет дальше представлений о Нем как об анонимном Верховном Существе, в лучшем случае, обеспечивающем правосудие и моральный порядок. Формально не являясь атеистами и выступая против атеизма, они, тем не менее, остаются противниками церкви и христианства. Когда Французская революция объявила о «дехристианизации» религии, отменила христианское летосчисление и сначала заменила (в 1793 г.) христианское богослужение надуманным «культом Разума», а потом декретом 1794 г. установила культ «Верховного Существа» и его почитание в бывших христианских церквах, именно идеи Руссо и Вольтера были положены в основу этого декрета. В формировании безрелигиозной идеологии, подготовившей Французскую революцию со всеми ее трагическими событиями, особое место принадлежит французскому материализму – учению, которое сводит явления духа и душевную жизнь человека к «материи» или к телесной «природе» и по своим исходным положениям враждебно религиозной вере. Механистические и натуралистические учения Ж.О. де Ламетри (1709–1751 гг.), позднего Д. Дидро (1713–1784 гг.) и К.А. Гельвеция (1715–1771 гг.) вполне могут быть отнесены к атеизму. Наиболее рьяно это мировоззрение, лишенное философской глубины и опирающееся на заблуждения ума и чувств, представлено в многочисленных антирелигиозных и антицерковных сочинениях П.А. Гольбаха (1723–1789 гг.) и, прежде всего, в главном его труде «Система природы», в которых происхождение религии он объяснял непросвещенностью людей, их невежеством, а также корыстными интересами духовенства. Немецкая классическая философия (от И. Канта до Г.В.Ф. Гегеля включительно), несмотря на ряд выдвинутых ею сомнительных идей и учений (в частности, о становящемся Абсолюте, об отношениях религии и философии, и философской вере), тем не менее, сохраняет внутреннюю связь с христианством и считает его абсолютной религией (Ф.В.Й. Шеллинг, Г.В.Ф. Гегель). Однако это не помешало левым гегельянцам эволюционировать сначала к деизму и пантеизму, а затем и к открытому атеизму (Д.Ф. Штраус, Б. Бауэр, А. Руге, Л. Фейербах, К. Маркс и др.). В числе яростных критиков Гегеля был его современник А. Шопенгауэр (1788–1860 гг.), атеист по своим убеждениям, развивавший не без влияния со стороны буддизма философию «ничто» и отрицавший существование Бога. В XIX–XX вв. стала разрабатываться типология неверующих, при этом в отличие от других форм неверия выделялось понятие «истинного атеизма». В XIX в. получает широкое распространение теоретический атеизм, связанный с философскими направлениями своего времени – позитивизмом, антропологической философией, анархизмом, материализмом и философией жизни.