Обвинения Варлаама Калабрийского находят косвенное подтверждение в сохранившихся исихастских текстах. Так, о соединении молитвы с дыханием и устремлении взгляда в пуп говорится в трактате «О трёх способах молитвы» (о том, что бесы прелести подобны огненному свету, упоминается в Житиях Максима Кавсокаливита и Павла Латрского). В защиту исихастской практики выступил Григорий Палама, утверждавший нетварный характер Фаворского света, видимого подвижниками при умном делании не только духовными, но и телесными глазами, и затем, дабы избежать обвинений со стороны Варлаама в мессалианстве, обосновавший различие в Самом Боге между нетварными энергиями (к числу которых, согласно Григорию, принадлежит и Фаворский свет) и божественной сущностью. При этом Григорий Палама во многом опирался на мистический опыт, зафиксированный в «Макариевском корпусе» и творениях Симеона Нового Богослова (особенно на видение Божественного света), и на богословие «Ареопагитского корпуса», к тому времени прочно вошедшего в византийскую традицию благодаря схолиям Иоанна Скифопольского, Максиму Исповеднику и Никите Стифату, но всё же продолжавшего сохранять ряд особенностей христианизированной неоплатонической философии. С середины XIV в. поляризация паламиты/антипаламиты и антикатолики/томисты привела к объединению паламитско-исихастского и антикатолического направлений в богословии (начало этому было положено уже Григорием Паламой, причём первая редакция трактата об исхождении Святого Духа была составлена им ещё до разработки учения об энергиях), хотя на ранних стадиях исихастских споров антипаламизм никак не был связан с католическими влияниями в богословии. Среди последователей Григория Паламы, писавших на богословско-аскетические темы, выделяется Каллист Ангеликуд, написавший трактат против Фомы Аквинского в защиту различения сущности и энергии и «Исихастское утешение» (другой трактат «Исихастская практика», если и существовал, то, скорее всего, по мнению исследователей, в виде разрозненных глав), и Марк Евгеник, продолживший в ряде трактатов защищать богословие Григория Паламы и одновременно составивший развёрнутое переложение древнего трактата об Иисусовой молитве. Особое практическое и церковно-политическое значение, по мнению исследователей, имела деятельность Филофея Коккина, ученика Григория Паламы, стараниями которого Григорий Палама был канонизирован. Как показало новейшее исследование рукописной традиции сочинений Григория Паламы, проведённое А. Риго (доклад А. Риго на седьмом конгрессе Национальной итальянской ассоциации византийских исследований 25 ноября 2009 г.; не издан), развившего наблюдения архиепископа Василия (Кривошеина), Филофеем были составлены и надписаны именем Григория «Другие главы о свете», представляющие собой выдержки из «Слов» Симеона Нового Богослова, с целью показать преемственность богословской традиции «учителя безмолвия» и доказать наличие у него мистического опыта, упоминания о котором отсутствуют в подлинных сочинениях святителя. Проводником исихазма на Руси стал митрополит Киприан. В поствизантийский период интерес к исихазму в Греции был возобновлён в XVIII в. в период так называемого филокалического возрождения, получившего именование от наиболее знаменитого сборника этого периода («Добротолюбие»), и движения колливадов, связанного, прежде всего, с именами Макария Нотары и Никодима Святогорца.