Джозеф Пристли в сочинениях «Institutes of Natural and Revealed Religion» («Установления естественной религии и религии откровения») и «Исследования о материи и духе» также считал доказуемым лишь признание Бога в качестве разумной Первопричины («Творца мира и людей») и полагал, что нет никакой необходимости при обсуждении вопроса о существовании Бога обсуждать тему Его сущности. Вольтер в раннем сочинении «Метафизический трактат», возражая против врождённого понятия Бога, приводил известные на то время аргументы в пользу существования Бога; в частности, писал: «Есть бытие, в силу необходимости существующее само по себе извечно и являющееся первопричиной всех остальных видов бытия». В работе «Основы философии Ньютона» он опирался на физико-теологическое доказательство существования Бога, разработанное в трудах И. Ньютона, а в своих поздних сочинениях отрицал достоверность каких-либо доказательств. Сторонником космологического доказательства был Этьенн Бонно де Кондильяк, полагавший в «Логике», что от ряда следствий и причин, наблюдаемых в мире, можно вывести заключение о независимой и необходимой Первопричине, которая является условием порядка во всей вселенной и «охватывает в своей безграничности и в своей вечности всё, что существует». От этой ещё «несовершенной идеи божества» люди будут восходить к совершенной по мере понимания сотворенных Богом вещей. В немецком идеализме тема доказательства бытия Божия занимала важное место в учениях И. Канта и Г.В.Ф. Гегеля. Отношение И. Канта к доказательствам существования Бога было различным в докритический и критический периоды его творчества. В сочинении «Единственно возможное основание для доказательства бытия Бога», которое рассматривалось им в качестве подготовительных материалов к будущей работе, автор уже на первых страницах выражал сомнение по поводу необходимости доказывать общеизвестную и лежащую в основании знаний истину существования Бога, а вместе с тем отмечал, что такие доказательства ещё не найдены. Избранный в этом сочинении путь, требующий анализа самоочевидного термина «существование» (бытие), свидетельствовал о новом подходе к доказательствам. И. Кант приходит к мысли, что общепризнанное представление о понятии «существования» как предикате или определении вещи ошибочно. Он писал: «Выражением существование пользуются как предикатом, и это можно делать с уверенностью и без боязни впасть в ошибки до тех пор, пока не ставят перед собой задачу вывести существование из только возможных понятий, как это обыкновенно делают, когда хотят доказать абсолютно необходимое существование». На этом основании И. Кант отвергал онтологическое доказательство бытия Божия, которое доказывало бытие (существование) Бога либо из идеи Бога (Р. Декарт), либо из возможности абсолютно совершенного существа (школа Лейбница-Вольфа), и противопоставлял им свой способ онтологического доказательства, согласно которому условием возможности является существующее (или действительное). Существование безусловно необходимого существа (Бога) И. Кант доказывал следующим образом: «Всякая возможность предполагает нечто действительное, в чём и через что дано всё мыслимое.