В обосновании метафизической необходимости абсолютно совершенного существа (т.е. его возможности и непротиворечивости) Г.В. Лейбниц прибегал к космологическим и телеологическим аргументам, развивая учение о предустановленной в мире гармонии; приводя онтологическое доказательство «субстанции, имеющей в себе основание своего бытия и, следовательно, необходимой и вечной» (совершеннейшей монады) и отождествляя с нею Бога, всемогущего, всемудрого и всеблагого, он отмечал, что без закона достаточного основания «мы никогда бы не смогли доказать существование Бога». В работе «Новая система природы и общения между субстанциями» Г.В. Лейбниц разрабатывал ещё одно, нравственное доказательство, в основании которого было положение, что Бог руководствуется нравственной необходимостью по отношению к миру людей, а человек понимается в качестве нравственного существа, исходя из свободы, данной ему Богом. Рассматривая нравственный мир как систему духов, писал Г.В. Лейбниц, «должно думать… что всякий дух должен занимать в ней такое место, чтобы наиболее способствовать совершенству общества всех духов, составляющих их нравственную связь в Царстве Божьем. Эта гипотеза даёт также новое доказательство бытия Божия, поразительно ясное, ибо такое совершенное согласие столь многих субстанций, не имеющих между собой никакого общения, может происходить только от общей причины». Особое значение для понимания проблемы космологического доказательства имела переписка Г.В. Лейбница с Сэмюелом Кларком, защитником учения Исаака Ньютона об абсолютности пространства и времени, в которой вопрос о бытии Бога рассматривался в тесной связи с физическими и математическими учениями эпохи; с одной и с другой стороны приводились естественнонаучные доводы, которые подтверждали существование Бога. Христиан Вольф, последователь философии Г.В. Лейбница, в построении онтологического доказательства бытия Божия формально воспроизводил принципы своего учителя и опирался на те же законы логики – противоречия и достаточного основания. Х. Вольф начинал доказательство с анализа «вещи» в отношении к основанию её существования и заключал, что «та вещь, которая имеет основание своей действительности в себе и, следовательно, такова, что невозможно, чтобы она не могла не существовать, называется самостоятельной сущностью (selbständiges Wesen). Поэтому очевидно, что самостоятельная сущность существует». Доказав необходимость существования «самостоятельной сущности», Х. Вольф приводил аргументы, которые должны были с необходимостью показать, что единственной «самостоятельной сущностью» является Бог. Д. Юм в «Диалогах о естественной религии» сделал предметом критического рассмотрения онтологический, физико-телеологический и другие аргументы; в конце трактата, лишённого ясной и последовательной постановки вопроса о существовании Бога, соотношении естественной и богооткровенной религии, он пришёл к заключению, «что причина или причины порядка во вселенной, вероятно, имеют некоторую отдалённую аналогию с человеческим разумом». Это признание разумной причины вселенной, обставленное массой оговорок у Д. Юма, выражало его скептическую позицию в отношении религии и Бога, обусловленную феноменалистским подходом к этим проблемам.